2002年,惠阳市辖20个镇(淡水
马安
永湖
水口
横沥
矮陂
良井
平潭
沙田
霞涌
澳头
秋长
新圩
镇隆
沥林
潼湖
陈江
芦洲
芦岚
大岚),250个村委会、45个居委会。
2003年,辖10个镇(淡水、永湖、良井、平潭、沙田、霞涌、澳头、秋长、新圩、镇隆)。
截至2005年12月31日,辖4个街道(淡水、霞涌、澳头、秋长)、6个镇(永湖
良井
平潭
沙田
新圩
镇隆)。
2006年4月28日,惠阳区淡水镇、秋长镇两镇举行撤镇设街道办事处挂牌仪式。
惠阳辖淡水、秋长、新圩、镇隆、沙田、永湖、良井、平潭、澳头、霞涌10个镇和三和经济开发试验区