SJ6000激光干涉仪特点如下:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米
4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性
5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
8、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。
首先是新研发的仪器肯定在检测性能、精确度、操作方法等各方面都有较大的提升,SJ6000激光干涉仪的线性镜组精度可以达到0.5ppm,结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。可以说是一种多功能的检测手段。