精度和分辨率不如测量不确定度全面； 步距规一般用坐标测量机配合双频激光干涉仪进行校准目前国内只有送中国计量院进行检测整个测量装置的测量不确定度±0.0010mm（95%，K=3）
目前国内只有送中国计量院进行检测整个测量装置的测量不确定度±0.00010mm（95%，K=2）
