激光位移传感器结构和原理
激光三角反射式测量原理基于简单的几何关系。激光二极管发出的激光束被照射到被测物体表面。反射回来的光线通过一组透镜,投射到感光元件矩阵上,感光元件可以是CCD/CMOS或者是PSD元件。反射光线的强度取决于被测物体的表面特性。为此,模拟元件PSD的敏感度需要进行调节。而对数字元件CCD传感器,使用德国米铱提供的实时表面补光技术(RTSC, Real Time Surface Compensation) 可以瞬时改变接收光强。
传感器探头到被测物体的距离可以由三角计算法则精确得到。采用这种方法能够得到微米级的分辨率。根据不同型号,测量得到的数据会由外置或内置控制器通过多种接口进行评估。
点激光传感器投射到被测物体上形成一个可见光斑,通过这个光斑可以非常简便的安装调试探头,因此点激光传感器被应用到非常多的领域,成为精密距离测量的热门选择。根据不同设计,光学测量原理最大允许测量距离达到1m。根据测量任务的需要,可以选择非常小的量程,但是具有极高测量精度。或者选择大量程,但是测量精度会有所下降。目前市面上有很多传感器型号可以快速补偿反射光的光强,但只有德国米铱的激光传感器成功实现了实时光强补偿。
快速表面补光技术 Rapid surface compensation
直接使用激光传感器测量,需要采样若干测量点。而这些测量点所处表面反射特性如果发生变化,就需要对反射光的光强进行调节,以达到最大的信号稳定性。
而调节的速度取决于传感器制造商。如果传感器需要越多时间来调节光强,就意味着越多测量值在被测表面颜色发生变化时,不可用于判断测量结果。德国米铱提供的实时表面补光技术(RTSC)可以实现最佳补光效果。此外,测量要确保激光传感器的测量范围内不存在异物干扰。灰尘或者其他小颗粒进入光路,会明显影响测量结果。另外,被测物体所处位置或移动方向对于传感器探头安装的影响不可低估。根据上述测量理论,反射光必须能够直达感光原件。如果反射光被阴影遮挡,则测量不可完成。因此,传感器安装位置必须与被测物体运动方向十字交叉。
虽然近些年激光传感器的尺寸日趋小型化,但与电磁类位移传感器相比,激光传感器的尺寸仍然偏大。
采用激光三角反射式测量方法的好处:
- 较小的测量光斑
- 允许较大安装距离
- 较大的量程
- 几乎可以测量任何被测物体材料
应用限制:
- 被测表面的性能对测量精度有一定影响
- 需要光路保持清洁
- 与光谱共焦式传感器,电容式或电涡流式传感器相比,激光传感器尺寸偏大
- 测量镜面被测物体,需要调试安装位置和角度
德国米铱的激光位移传感器拥有辉煌的历史,作为CCD传感器技术应用的先驱, optoNCDT 系列在工业激光位移测量发展过程中始终占有重要地位。现有的传感器类型多样,覆盖的应用范围广,而且每一种产品都拥有技术领先优势。optoNCDT系列激光三角反射式位移传感器以其极高的测量精度享誉世界激光位移传感器凭借直径微小的测量光斑,可从较远距离对被测物体进行测量,并适用于结构小巧的零部件的精确测量。传感器相对被测表面安装距离远且量程较大的技术特性,使其可完成对特殊表面的测量任务,例如炙热的金属表面。传感器与被测物体间在测量过程中无实际接触,此非接触式测量原理的优势在于可保证无磨损、抗干扰的高精度测量。此外,激光三角反射式测量原理还适用于高精度、高分辨率的高速测量。
大部分的激光位移传感器都是采用激光三角法的测量原理,比如ZLDS100;有的使用脉冲法:测距仪发射出的激光经被测量物体的反射后又被测距仪接收,测距仪同时记录激光往返的时间。光速和往返时间的乘积的一半,就是测距仪和被测量物体之间的距离,比如LDM301和LDM302;有的使用相位法:是指测光波计算发射波和接收波的相位差,从而计算出往返于发射端与反射面之间所经历的时间,知道了时间,那么距离也知道了,比如LDM4X;还有的使用光谱分析法,例如纳米位移计NLS1X;
cshdavid 回答的很清楚了。跟超声波的测距原理是一样的。