基本上是真空计显示的问题,虽然电阻规的量程是0.1Pa—0.1MPa,但绝对不会脆弱到稍微压力大一点就损坏,因为很多真空烧结炉都可以正压烧结,那是的压力甚至可以达到0.1MPa(相对压力)
一般不会出现这样的情况,泵本身不会造成压力上升,对你的工艺不了解,真空室是否需加热?