采用蓝光芯片加黄色荧光粉形成的白光LED,去除表面荧光粉后,在高倍显微镜下观察,表面呈现网状,是啥材料

2024-12-12 14:07:45
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回答1:

这个图案好熟悉,是不是国内某芯片厂的?
这是LED芯片制造加工过程中的工羡宽艺。中间分散的点状是填充的二氧化硅的,连续的物质是透明导电层(即档槐ITO成分为氧化铟锡,氧化铟和行派友氧化锡的比例混合物)。
透明导电层是通过ITO蒸镀工艺附着在芯片外延层上的,通过光罩工艺、ITO蚀刻工艺将ITO层腐蚀出很多个小孔(为了增加电流密度,提高产品光学、电学性能),上面覆盖了一层二氧化硅薄膜,起到对透明导电层的保护作用(也可有绝缘作用)。
LED芯片工艺流程繁杂,上百道工艺,期间的工艺参数非常重要。