工业上用碳在电炉内还原二氧化硅制得粗硅。用氢气还原三氯氢硅或四氯化硅可制得高纯度硅。
晶体硅是由在碳在电炉内还原二氧化硅制得.超纯度硅(99.9999999%-99.99999999%)是由高温下由氢气使三氯氢硅或四氯化硅还原或加热使碘化硅分解而得.由粗硅晶体制单晶体则可经区域熔炼法拉制!!