是的,尺子安装和制造过程中都是有误差的,用干涉仪可以检测尺子的安装,补偿后使数控系统的显示值接近实际值
实际上激光干涉仪测量的是整个伺服系统的精度,当然主要体现的就是光栅尺的误差。
???
是的,全闭环的还用的着螺距补偿吗?