MEMS型压力传感器可分为几种？

2024-12-29 16:06:14

推荐回答（2个）

回答1：

我所知道的有两种：硅电容式集成压力传感器、硅谐振式压力微传感器。建议看一看北航樊尚春老师的《传感器技术与应用》。此外谐振式压力传感器还有：振动筒压力传感器、谐振膜式压力传感器、石英谐振梁式压力传感器。MEMS的突出特征是其敏感结构的尺寸非常小，在um级或亚um级，个人认为如果能把其它机理（如谐振式）的传感器用适用于该尺寸级别的技术实现就可以称作是MEMS。。。

回答2：

MEMS型压力传感器可分为压阻式、电容式和压电式，一般是压阻式的。