看下漏率.漏快就是机腔室和前级有可能渗。没有就可能是扩散泵需要换油了。
原因1：您的镀膜机腔室有可能渗水了。原因2：您的扩散泵需要换油了。原因3：您的真空室漏气。原因4：您的真空计坏了。原因5：。。。。。。。。。。
