多晶硅的太阳能生产工艺 是 原料三氯氢硅提纯送入还原车间 与氢气一定配比 进入还原炉 沉积多晶 混合尾气进入干法回收处理 氢气返回还原系统 氯硅烷进入提纯车间分离纯化 HCl进入氢化车间。
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