这里应该使用“did he" ，因为cannot在这里是表示推测，不用管cannot。
再如“He cannot be a teacher, is he?"
如果是表示能力的话，就要看can的形式了，如“He can do it, can't he?"
希望能帮到你，谢谢！
He cannot have got up early this morning, can he?
He cannot have got up early this morning ，did he？
反意疑问句应该是:
Can he have got up early this morning?
还用问吗? 这种特殊的带有can的反意疑问句肯定是这样的.
He cannot have got up early this morning, can he?
应该是正确答案。
did he?表示推测的，不随情态动词变化，随句中时态变化。原意应是过去时。
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