微电子机械系统的百科名片

微电子系统是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不但能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术（包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术）相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响，它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等学科。
微电子机械系统已经被用于汽车气囊的加速计。它们以较低的成本替换了可靠性低一些的设备，并且承诺能够根据减速的感觉而且能够根据所保护人的体积大小来充气。基本上，一个微电子机械系统设备包含了一块小硅片芯片上的微电路，一些机械设备像镜像和传感器被植入其中。潜在的，这种芯片能够以低成本大量制造，成本效益好。
现在可以使用或者正在研究的微电子机械系统是： 能够被包含在快信包裹中以用来连续追踪和感觉到在途中处理的包裹的全球定位系统传感器。 植入机翼机构中的传感器，这样机翼能够感觉气流并对其作出反应，改变机翼表面阻力；有效的创造出许多微小的副翼。 光学开关设备，能够以亿分之二秒的开关速度在不同路径开关光信号。 传感器驱动的制冷制热系统，能极大地改善节能效果 嵌入式传感器的建筑支持，可以改变基于大气压力感应的材料的适应性 Saffo区分了传感受动器型微机（他称为“MEMS”）和包含齿轮、镜像、电子管和其它部分的微型设备（他称为“微型机械”）。