估计有地方漏气,在抽好气后,可用检漏仪检测一下哪漏气,再用真空脂将漏气的地方密封即可。
各阶层分级比较下,如果是粗抽就很慢那么就针对扩散泵以外的一些连接地方做检测,一般只有几个地方有漏气的,比如波纹管\规管\接头\转动处\大门边,如果是精抽慢那就是扩散泵有问题,当然有可能是冷却水的温度有关系,还有规管边上有小漏气也是热天常有的事,规管点亮后有热度,封泥有可能变稀,就会有小漏,据体哪有问题只能你自己找了!