进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线,俄歇电子,
阴极荧光,背散射电子等,特征能量损失电子。
SEM
常常使用:EDS,WDS
分光特征X射线;
俄歇电子需要超高真空环境,往往以俄歇电子谱仪的商品出现,也可归入扫描电镜范畴;背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息,定性的了解原子序数高低或者材料密度分布;阴极荧光光谱范围在紫外,可见或红外波段所发射的电磁辐射,这种现象可以被用来检测矿物,半导体和生物样品中痕量元素(ppm级别,用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的)的分布。
TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子,
我以前也毕设也做过电镜,是大肠杆菌的细胞表面的纳米金属颗粒,扫描电镜,透射电镜两个都做了。最后写论文的时候就用了扫描电镜的图,你说看主要做形貌,凡是需要看物质表面形貌的,都可以用扫描电镜,不过要要注意扫描电镜目前分辨率,看看能否达到实验要求。
两种测试手段的适用情况
凡是需要看物质表面形貌的,都可以用扫描电镜,不过最好的扫描电镜目前分辨率在0.5~1nm左右。如果需要进一步观察表面形貌,需要使用扫描探针显微镜spm(afm,stm).
如果需要对物质内部晶体或者原子结构进行了解,需要使用tem.
例如钢铁材料的晶格缺陷,细胞内部的组织变化。当然很多时候对于nm
材料的形态也使用tem观察。
区别
扫描电镜观察的是样品表面的形态,而透射电镜是观察样品结构形态的。一般情况下,透射电镜放大倍数更大,真空要求也更高。
扫描电镜可以看比较“大”的样品,最大可以达到直径200mm以上,高度80mm左右,而透射电镜的样品只能放在直径3mm左右的铜网上进行观察。