（1）控制系统：由高速DSP控制卡、2个开关电源、4个步进电机驱动器组成。（2）辅助系统：有循环冷却水泵、吹气压缩机、抽烟排风机。（3）传动系统：由三条高精度四均衡进口直线导轨、四根高精度丝杆、皮带、4个步 进电机和若干个齿轮组成。（4）机械平台：由机盖、导轨、底座、反射镜等机械配件组成
