1、扩散泵不给力了
用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限
2、系统有微漏
慢慢检漏吧，看看保真空时间达不达标
3、箱体太脏
太脏放气量就大了
4、前级不行
机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行，可以用电阻规单独检测前级管道。
请详细说明，什么设备 什么泵 泵油颜色 原来多长时间 现在多长时间 多长时间开门 一次 开门多久 大气相对湿度等
1、精抽 速度慢不慢？如果不慢 证明精抽部分和真空室不漏气
2、粗抽泵油颜色 是否乳化
3、粗抽管道是否漏气，可采用盲板加规管堵在真空泵的抽气口段 判断2 、3 问题
4、如果2、3没有问题，请考虑真空室内脏污问题 清理干净先
扩散泵温度低，扩散油少了，漏气，等
有地方微漏，需检漏。或测漏率确认。
腔体清洁不够
停机时间较长，比较难抽。确认之前的数据对比。
冷pump是否需再生
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