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基片性能，蒸发速度，蒸发时的真空度以及蒸发源与基片之间的距离等因素对膜的质量有什么影响？
基片性能，蒸发速度，蒸发时的真空度以及蒸发源与基片之间的距离等因素对膜的质量有什么影响？
2024-12-14 00:31:16
推荐回答（1个）
回答1：
基片性能影响膜的耐环境性
蒸发速度，真空度还有温度以及充的工艺气体量决定了膜层的折射率，吸收率，膜致密性，甚至膜强度。
蒸发源与基片之间的距离影响不是特别大，但一般太远的话会导致蒸发沉积速率降低。
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