双波长激光辅助沉积功能膜的方法，其特征是将高频脉冲准分子激光输出的紫外激光束经分光镜分为二束，一束经透镜聚焦到靶体上，另一束经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上，同时将红外激光器输出的红外激光经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上。它可制得高品质功能膜。
本人也在研究这个。-
