方块电阻就是表面电阻率。可以四探针法直接测试薄膜的表面电阻率。计算公式:方块电阻(或表面电阻率)R = 4.532 * V / I 。其中,V 是探针2-3 间的电位差; I 是探针1-4 间的电流。
是的,方阻就是薄膜表面电阻,可以直接测试表面电阻