恐怖电影的历史与电影本身的历史一样古老。历史上的第一部恐怖电影是由乔治·梅里耶于1890年代晚期所拍摄的怪物默片，他所拍摄的恐怖电影，是一个充满恶魔，巫术，女巫，捣蛋鬼，疯狂博士的世界。 在1900年代初期，德国拍摄出大量表现主义的恐怖电影。由斯特拉·瑞耶导演的《布拉格的大学生》（1913），该片被视为精神分裂症恐怖电影的典范。斯特拉·瑞耶参与了最早的重要恐怖影片《泥人》（1914）及《泥人出世记》（1917）的导演工作，并在其中扮演一个由魔法赋予其生命力的雕像的角色。
德国表现主义的经典作品来自于罗伯特·威恩导演的《卡里加利博士的小屋》（1919），描述一个邪恶的催眠师的故事。在德国表现主义的电影中，最为知名与不朽的杰作，是由弗雷德里希·威廉·茂瑙所拍摄的第一部吸血鬼电影《吸血鬼》（1922），该作改编自布拉姆·斯托克的《德古拉》，后来所有的吸血鬼形象，都以它为原型。
德国导演保罗·莱尼拍摄的《蜡像馆》（1924），描述一个蜡像具有生命，并且成为杀人凶手的故事。保罗·莱尼拍摄完这部电影后，远赴好莱坞发展，并推出了两部电影《录像带谋杀案》（1927）及《嘻笑的人》（1928）。这时好莱坞正开始其恐怖电影热潮。
1930及1940年代
好莱坞在1920年代初期就已经出产过恐怖电影，但是从1930年代开始，特别是由环球影业所出品的恐怖电影，才真正开启了好莱坞的恐怖电影时代。在相当程度上，这些恐怖电影都受到佛洛伊德精神分析学的影响，它们涉及了德古拉，科学怪人，以及木乃伊等等主题。至1940年代，好莱坞恐怖电影已发展至一个成熟阶段，各类型题材泰半涉足。
1950年代
受到核武竞争的影响，恐怖电影脱离了以前的哥特式风格，开启了现代意义上的恐怖电影时期。这个时期的恐怖电影，有一个共同的主题，即人类遭受到非人世界的威胁，例如外星人，死尸，植物，昆虫等等。像是霍华德·霍克斯的《魔星下凡》（1951），唐·席格的《天外魔花》。将恐怖与科幻掺杂在一起，是这个时期开始的特色，这类型新近较为知名的电影是雷利·史考特的《异形》（1979）。
在1950年代晚期及1960年代早期，一些电影公司特别集中在恐怖电影的制作上。例如英国的锒头影业，以及美国的美利坚国际影业。后者制作了一系列爱伦·坡小说改编的电影。
1960年代
希区考克《惊魂记》剧照1960年代的恐怖电影，逐渐脱离对超自然的兴趣，转向非超自然的恐惧。比如希区考克的《惊魂记》（Psycho，1960）就以人的精神变态来惊吓观众。米切尔·鲍威尔的《偷窥狂》也是一个显著的例子。新近的例子则有《沉默的羔羊》（1991）。
保罗·威尔士以1960年代为当代恐怖电影的分界点，在这之前的是共识与制约，在这之后的则是混乱与瓦解。伊萨贝尔·彼耐多以1968年为分界点，区分出传统意义上的现代恐怖电影，以及后现代意义上的恐怖电影。 这一分界点，一般公认以乔治·罗梅罗《活死人之夜》（1968）的诞生为标记。
1970年代
在1960年代晚期，有一些严肃的、以超自然为主题的恐怖电影，获得了观众的注意力。例如罗曼·波兰斯基的《失婴记》（1968）。该片的成就，实际上是威廉·佛瑞金的《大法师》（1973）成功的基础。在《大法师》后，引起了大量的跟风之作，其中显著的例子是《天魔》（1976）。
许多原创性的电影都来自于这个时期的独立制片，低成本与富原创性的特点，一直持续至最晚1990年代晚期。这些独立制片的澎湃发展与家用录像带市场的兴起是紧密关连的，也促使恐怖电影找到了它的新市场；另方面，延续恐怖电影传统的恐怖影片，则继续在大银幕市场中发展。
1970年代开始，西方学者开始以理论探讨恐怖电影的存在意义。
1980年代
1970年代晚期，恐怖电影的主流转向骇俗的题材，诸如陶比·胡波的《德州电锯杀人狂》（1974），约翰·卡本特的《月光光心慌慌》（1978）。还有诸如《十三号星期五》系列及《半夜鬼上床》系列。这类青少年与邪恶刽子手的恐怖电影，漫延整个1980年代。
1990年代
《鬼玩人》电影海报1990年代的恐怖电影脱离了以往外在的暴力形式，转向自我嘲讽的方式。韦斯·克莱文将别的恐怖电影的内容放置到《惊声尖叫》中，并在惊吓中掺杂着反讽的幽默，把陈腔滥调的肢体语言转化成新一代年青人的词汇。山姆·雷米的《鬼玩人》（1981）融合了旧与新的僵尸类型。《厄夜丛林》以恐怖电影的内容呈现，却参照到纪录片的形式。《厄夜丛林》不止使电影成为一种跨媒体，且使得恐怖电影能够成为通俗的享乐品。
2000年以后
2000年早期的恐怖电影承续了以往的杂揉性质，并持续聚焦于年青人的世界，例如《绝命终结站》系列，并且有向主流电影市场迈进的企图，例如《水中的女人》和《七夜怪谈西洋篇》。
恐怖之王
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