知道薄膜厚度t ，用四探针测了电阻（方块电阻）R，则薄膜的电阻率=R * t 。 由ρ=RS/L得：R=p*L/S=p*L/(w*t) 其中S=w*t （w是薄膜截面的宽，单位与L相同即可；t 是薄膜的厚度，单位cm--应与电阻率单位中的长度单位相同）当 L= w 时，有 R=p/t ，此时的电阻R 即薄膜的方块电阻，单位Ω/□。
