微机电系统中常用传感器有哪些?

近年来，随着汽车电子化、智能化和轻型化程度的不断提高, 汽车产业对传感器的需求量也越来越大。同时, 汽车传感器作为信号转换和获取装置, 对汽车安全性、经济性、舒适性等性能的影响也越来越重要。
微机电系统将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,，实现微电子与机械系统的一体化。微机电系统传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器, 其体积和能耗小, 可实现许多全新的功能, 便于大批量和高精度生产, 单件成本低,易构成大规模和多功能阵列, 这使得他们非常适合于汽车方面的应用。根据NEXU S在2009年的市场研究可知, 汽车上采用的传感器中大约1 /3 传感器采用的是微机电系统传感器, 并且汽车越高级, 采用的微机电系统传感器越多。
目前, 微机电系统传感器主要有压力传感器、微加速度计、微机械陀螺、静电电动机、磁力矩器、多路转换开关和矩阵开关等。汽车上的微机电系统传感器主要应用于发动机运行管理、车辆动力学控制、自适应导航、车辆行驶安全系统、车辆监护和自诊断等方面。
微机电系统传感器按照测量性质可以分为物理微机电系统传感器、化学微机电系统传感器、生物微机电系统传感器。物理微机电系统传感器是汽车上采用得最为普遍的传感器, 基本上在汽车电子控制的各个方面都有涉及; 化学微机电系统传感器主要是指测量汽车系统中气体成分的气体传感器; 生物微机电系统传感器更多地应用于预测驾驶疲劳等汽车行驶安全领域。