1）电离杂质散射 2）晶格振动散射 声学波和光波、声波散射、光波散射3）其他因素引起的散射 等同的能谷间散射、中性杂质散射、位错散射
半导体材料的战略地位上世纪中叶，单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路低维半导体结构制备的方法很多，主要有：微结构材料生长和精细加工工艺相结合
