中国电子行业超纯水国家标准

中国电子行业超纯水国家标准
GB/T1146.1-1997
级别
指标 EW-I EW-II
电阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13
硅≤µg/l 2 10
>1µM微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
铜≤µg/l 0.2 1
锌≤µg/l 0.2 1
镍≤µg/l 0.1 1
钠≤µg/l 0.5 2
钾≤µg/l 0.5 2
氯≤µg/l 1 1
硝酸根≤µg/l 1 1
磷酸根≤µg/l 1 1
硫酸根≤µg/l 1 1
总有机碳≤µg/l 20 100
参考：南京权坤qkspw

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或，你在百度上搜 电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）

超纯水系统执行标准
　　GB/T11446.1-1997-中国电子行业超纯水国家标准
　　欧盟电子级超纯水标准
　　美国ASTM-1997E电子行业超纯水标准
　　GMP药典标准2010
　　其他标准均符合各行业清洗用水下属内控用水标准

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