看看你的精抽和粗抽设定时间，然后看看机器上电离规管有没有坏，最好是一礼拜换一次，要不然它探测不到镀膜仓里的真空度，机器会一直抽真空，所以会增加工作时间
送到卖的地方去让他们调一下
你也没把问题说清楚！是粗抽慢还是精抽慢？等等
问题问的太含混，如果是做不同的膜系（层数和膜层不同），时间当然不一样了。如果是做同一种膜，那和你的真空抽取时间，烘烤时间和沉积速率有关了就。
漏汽！
