纯水和超纯水一般都没有统一的标准。一般意义上讲纯水至少应该是去离子水，即水中大部分阴阳离子是应该被去除的。
1、超纯水处理，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm(25℃)。
2、超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
3、纯水又称去离子水，是指市政自来水通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水，也可以称为纯净物(在化学上)，在试验中使用较多，又因是以蒸馏等方法制作，故又称蒸馏水。
4、市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水;纯水不含有矿物质，但是人体所需的矿物质并不一定要从水中获取、像平常的饮食也能获取大于普通水里含有的其他元素。
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