磁控溅射过程中，靶材铝靶短路、变形和溶穿可能是由以下几个原因造成的：
1. 靶材过热：在磁控溅射过程中，靶材受到较高的能量输入。如果靶材的冷却不足，可能导致过热、变形和溶穿。要确保靶材得到适当的冷却，可以检查冷却系统是否正常工作，以及冷却水的流量和温度是否在规定范围内。
2. 过高的功率：磁控溅射过程中使用的功率过高可能导致靶材短路、变形和溶穿。应根据靶材和镀膜要求选择合适的功率。
3. 靶材固定不稳：如果靶材的固定方式不稳定，靶材可能在溅射过程中移动或者扭曲，从而导致短路、变形和溶穿。检查靶材安装方式，确保其牢固稳定。
4. 靶材质量问题：如果靶材存在质量问题，例如内部缺陷、气泡或杂质，这可能导致靶材在溅射过程中变形和溶穿。使用高质量的靶材可以降低这种风险。
1.靶材短路后靶材成了负载，瞬间就会产生巨大的热量。由于纯铝的熔点很低，只有660摄氏度，不但在外力的作用下靶材变形，局部还会达到熔点，形成溶洞；2。即便靶材不短路，如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形；3.磁控溅射镀膜电源保护性功能差，超载后不能及时自动停止工作。
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