在制绒的时候工艺控制,在扩散时分时间,分气场,分单双面,不同的值结果不同,PECVD同样是对内部气场,以及射频电源对质量都有影响,最后的丝印,对银线,铝背板都有要求,
最大影响源与硅片,好的片子,上面的有一定影响,不好的片子,上面就是影响了也没有什么质量出来。硅片分选还是比较重要的。
有空你可以给我MAIL,3sgm@163.com ,大家共同探讨一下。
来料检验控制硅片质量,制绒工序控制腐蚀量和绒面的均匀度,扩散控制方块电阻的均匀度,刻蚀的边缘电阻,去PSG后的方块电阻,PECVD的膜厚和折射率、镀膜的均匀性等,丝印的话比较多了,印刷重量、栅线有没有虚印断栅等等,还有碎片率。比较笼统,大体就这些吧,晶硅电池
很多,每一个步骤都需要控制。
丝网印刷对效率影响最多