电压下降，不管怎么升电流电压就那么一点，不要问我怎么知道，今天中午就穿了
1. 靶材穿透 不等于 电极穿透。 靶材一般都是固定在（相对）厚金属（例如 Cu）电极上。2. 由于电、磁、气、、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响，靶材的消耗是不均匀的，基本成一个 环“U”状。“U”谷深度也不尽相同，存在一个薄弱点（最先穿透）。3. 穿透时电压、电流变化：主要视 （金属）靶材 、基座 的材料特性（原子序数、半径、电导率……）而有差异。4. 厚度监测：首先必须知道 初始靶材厚度，监测分两种： a. 直接法：打开机台，拆下靶材测量，绘出剩余靶材厚度分布图， b. 间接法：最大溅射淀积速率 x 时间 x 工艺批(片) = 安全系数 x 初始厚度。 其中 安全系数 由 a给出，或保守取值。 查看原帖>>
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