平晶具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。常用的平晶有平面平晶、长平晶和平行平晶。
平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。圆柱形平面平晶的直径通常为45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。
长平晶主要用于以等倾干涉法检定研磨平尺的平面度。
平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差。
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