不是吧~兄台~我们的设备橡胶都能镀上~首先确定你的靶材磁场是否合适,方向是否正确~~磁场不够导致溅射范围广,沉积速度慢,方向不正确就射到其他方向去了。再次确定电源是否正常,或者说电源的类型,比如射频?中频?直流?要搞清楚是辉光电源还是溅射电源~最后在确定工件的电场方向~不要排斥金属离子就好~
1、玻璃未清洗干净或者带有静电。2、真空腔室内有杂质气体,水分等。或真空度不够。
靶材是否有问题,换个其他工件先试试