磁控溅射镀膜单质膜镀不上有那些原因!急急急!!!!

2025-01-28 00:56:53
推荐回答(3个)
回答1:

不是吧~兄台~我们的设备橡胶都能镀上~
首先确定你的靶材磁场是否合适,方向是否正确~~磁场不够导致溅射范围广,沉积速度慢,方向不正确就射到其他方向去了。
再次确定电源是否正常,或者说电源的类型,比如射频?中频?直流?要搞清楚是辉光电源还是溅射电源~
最后在确定工件的电场方向~不要排斥金属离子就好~

回答2:

1、玻璃未清洗干净或者带有静电。
2、真空腔室内有杂质气体,水分等。或真空度不够。

回答3:

靶材是否有问题,
换个其他工件先试试